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求一份真空退火炉工安全技术操作流程

来源：成都新德南光机械设备有限公司 | 发布时间：2014-03-01 |

1.先送水源,检查水源是否畅通,水压р﹥0.lMPa,否则不准开炉?！?br />2.合上总电源,再合上操纵电源。
3.开机械泵,分别打开1号、2号闸门。
4.合上真空计总电源,接通热电偶电源,调整好加热电流(电流调为128A)丈量真空度。
电流为22mA时真空度为10-1Torr(13.3Pa)；电流为84mA时真空度为10-2Torr(1.33Pa)；电流为98mA时真空度为10-3Torr(0.133Pa)；电流为10OmA时真空度为10-4Torr(0.0133Pa)。
5.真空度高于1.33Pa以后,打开3号真空阀,使扩散泵内的真空度也达到1.33Pa以上。
6.扩散泵送电加热,约40min以后,泵油加热蒸发,这时封闭2号真空阀,然后再打开高真空阀。
7.真空度高于0.133Pa后封闭“热电偶电源”,打开“电离计电源”,用电离计丈量真空度。
8.把电子电位差计的定针调到要求的温度值,把“PID”调整到规定的比例带和积分、微分时间(比例带为40%～150%,积分时间为6～2.5min,微分时间为5～4min)
9.把电路电源“手动给定”旋钮调到最小,开关打到“自动”位置,把“PID”调节器的“手动”调到最小,开关打到“手动”位置,并接通“PID”电源。
10.电炉送电,调整“PID”的“手动”,使三相电流表的输出指示基本均衡在30～70A。
11.待炉温接近给定值时,把“PID”的炉温控制从“手动”打到“自动”以便进行自动控制。
12.保温时间满足要求后,如工艺要求随炉冷却,可封闭电炉电源。如工艺要求控制冷却,即把“PID”由“自动”打到“手动”,靠“手动”调节冷却。
13.350℃以上不准封闭水源和真空系统,封闭扩散泵时,必须首先封闭高真空阀,然后封闭3号真空阀,打开2号真空阀。
14.封闭机械泵时,先封闭2号真空阀,再封闭电源。
15.炉温高于150℃时,不准放气和打开炉盖。
16.工作过程中一定要严格遵守上述安全技术操纵规程,不准脱离岗位,经常留意检查水源、仪器、真空度、电机、变压器、风扇、电表等运行是否正常,发现异常,及时报告处理。