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光刻机主要配置

来源：成都新德南光机械设备有限公司 | 发布时间：2015-12-28 |

光刻机的配置包括一下几个方面：
(1)曝光头
冷光椭球镜
350 W进口直流高压汞灯(德国欧司朗)
 XYZ汞灯调节台
 光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜1、准直镜镜2、蝇眼透镜组(77个透镜)、i线滤光片、场镜1、场镜2、冷光反射镜1、反射镜2

 冷却风扇

光刻机

(2)对准工件台
掩模样片相对运动台
转动台
样片调平机构,自动完成
样片调焦机构，气缸自动调
承片台3个(2英寸、3英寸、4英寸)
掩模夹4个(2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸)
掩模抽拉式上下机构
(3)双目双视场对准显微镜(可以选择带CCD型，目镜和监视器可同时观测)
光源、电源
双目双视场对准显微镜主体
目镜3对(10倍、16倍、20倍，共6个)
物镜3对(4倍、10倍、20倍，共6个)
CCD光学系统(选配件)
XYZ底面对准工件台